工信部推广国产氟化氩光刻机：分辨率≤65nm

　　据微信公众号“工信微报”消息，工信广国光刻近日，部推辨率工信部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。产氟随州市某某科技业务部

　　“工信微报”介绍道，化氩重大技术装备是机分国之重器，事关综合国力和国家安全。工信广国光刻中国首台（套）重大技术装备是部推辨率指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、产氟尚未取得明显市场业绩的化氩随州市某某科技业务部装备产品，包括整机设备、机分核心系统和关键零部件等。工信广国光刻

　　而观察者网注意到，部推辨率在《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》电子专用装备目录下，产氟集成电路设备方面：氟化氩光刻机，化氩光源193纳米，机分分辨率≤65nm，套刻≤8nm。

　　工信部网站

(责任编辑：知识)

• 闫学晶回应直播哭穷争议
• 台风“贝碧嘉”进入南京 所有高速入口关闭
• 网传“一游客在河南某景区意外身亡”？官方通报
• 大数据分析盘点 中秋假期“网红”打卡地“上新”
• 美司法部：新发现逾百万份或与爱泼斯坦案相关文件
• 新闻1＋1丨九月以来，秋台风为何如此频繁？
• 《有力见证》：北京原来有这么多井
• “梦想”掘进
• 赖清德弹劾案首战告捷！接下来会怎样？
• 9岁女童在病房被猥亵之后
• 《有力见证》：北京原来有这么多井
• 江苏昆山一高压电线坠落致2人触电
• 航行警告！南海海域有火箭发射
• 残阵拿下热刺，阿森纳多亏有这个秘密武器